扫描电子显微镜分析

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）及能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer）是电子束微束分析技术中应用极为广泛的仪器，也是材料微观形貌观察和成分分析的常用技术手段，可在形貌观察的同时进行微区成分分析。

秦陵博物院扫描电子显微实验室全景

在文物分析研究中，这一技术的优势在于样品需求量小，制备简单。一般情况下，分析要求样品表面导电，但对于不导电样品或导电性差的样品，可以进行喷镀，或利用低电压、低真空、环境扫描等成像技术进行观察分析。

离子溅射仪

因此，该技术在文物样品制备上无特殊要求，只要适合样品室大小即可。此外，该技术可快速、自动进行多种方法分析，同时对多种元素进行定性、定量分析，有无标准样品都可以获得较好的结果。

秦始皇帝陵博物院扫描电子显微实验室，由比利时杨森公司出资建成于2009年，配备有 FEI QUANTA 650扫描电子显微分析仪、INCA X-MAX250能谱仪及EMITECH K550X离子溅射仪等。

扫描电子显微镜加速电压范围为200V～30KV，放大倍率在6～10万倍，包括高真空（<6e-4Pa）、低真空（<10～130Pa）和环境扫描（<10～2600Pa）模式；能谱仪分析元素范围从铍 (Be) 到铀 (U)，探测限一般为0.1%～0.5%, 相对误差在2%～3%；主要用于文物材质分析、文物病害分析、文物保护材料研究等方面。

以下为扫描电子显微镜及能谱仪在文物分析上的应用示例：

文物样品的观察与分析

文物样品结构的观察与分析

彩绘层结构分析

文物保护材料效果评估

文物腐蚀机理的研究

文物制作工艺、微痕研究

菌种的鉴别

菌种的鉴别